韓國研究者實(shí)現(xiàn)石墨烯基板生長柔性GaN Micro LED陣列
來源:MicroLED視界 編輯:ZZZ 2023-12-13 09:02:20 加入收藏
12月11日,外媒消息,韓國首爾國立大學(xué) 與成均館大學(xué) 的研究團(tuán)隊(duì)聯(lián)合開發(fā)了一種在石墨烯層上生長柔性GaN LED陣列的方法,通過該技術(shù)研究團(tuán)隊(duì)生長出了LED微型陣列,并稱作微盤陣列(Microdisks arrays)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,微盤陣列表現(xiàn)出了優(yōu)異的結(jié)晶度,并可發(fā)出平面內(nèi)方向一致且亮度較強(qiáng)的藍(lán)光。
據(jù)悉,研究人員使用金屬有機(jī)氣相外延技術(shù)在覆蓋有微圖案SiO2掩模的石墨烯層上生長GaN微盤。然后將微盤加工成Micro LED,并成功轉(zhuǎn)移到可彎曲基板上。這項(xiàng)研究表明,可通過石墨烯上生長出高質(zhì)量LED,并將其集成到靈活的Micro LED設(shè)備中。
值得注意的是,首爾國立大學(xué)的研究團(tuán)隊(duì)近年正在深入進(jìn)行Micro LED技術(shù)的研究,并通過與韓國知名顯示企業(yè)之間的合作,陸續(xù)開發(fā)出先進(jìn)的Micro LED制造技術(shù)。
就在今年的7月,首爾國立大學(xué)與LG電子的科學(xué)團(tuán)隊(duì)在《自然》(nature)雜志上發(fā)表了一種稱作流體自組裝(FSA) 的巨量轉(zhuǎn)移新技術(shù),通過搖晃運(yùn)動(dòng)的方式將Micro LED芯片定位并粘合在基板上。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,通過應(yīng)用FSA技術(shù),可在60秒的時(shí)間內(nèi)組裝一個(gè)具有超19,000 個(gè)Micro LED芯片的兩英寸藍(lán)光面板。若仔細(xì)控制液體的粘度,該轉(zhuǎn)移技術(shù)還可實(shí)現(xiàn)高達(dá)99.9%的Micro LED組裝良率。
這項(xiàng)巨量轉(zhuǎn)移新技術(shù)可大幅縮減Micro LED顯示產(chǎn)品的制作時(shí)間與成本。該技術(shù)有望在未來5年應(yīng)用在Micro LED智能手機(jī)、平板電腦、智能手表和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)設(shè)備等顯示產(chǎn)品的生產(chǎn)中。
除此之外,在2020年,首爾國立大學(xué)團(tuán)隊(duì)還成功在100nm的藍(lán)寶石納米薄膜 上生長出Micro LED陣列。研究團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)出一種藍(lán)寶石納米薄膜陣列,用于生長尺寸為4μm×16μm的Micro LED陣列。這種方法無需經(jīng)過等離子蝕刻 工藝就能夠?qū)崿F(xiàn)Micro LED芯片的單片化,提供更高的外量子效率(EQE)。
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