近日，合肥欣奕華完成業(yè)內(nèi)首臺(tái)Micro LED接觸式線路斷路/短路（下稱(chēng)“OS”）缺陷檢測(cè)設(shè)備量產(chǎn)并向業(yè)內(nèi)頭部企業(yè)交付。設(shè)備幫助客戶實(shí)現(xiàn)了Micro LED新型顯示面板生產(chǎn)良率的提升。

　　據(jù)介紹，合肥欣奕華此次量產(chǎn)交付的Micro LED OS檢測(cè)設(shè)備，通過(guò)接觸式檢測(cè)可以對(duì)驅(qū)動(dòng)電路基板的線路缺陷進(jìn)行快速定位，在對(duì)產(chǎn)品沒(méi)有損傷的前提下，可同時(shí)進(jìn)行多達(dá)4000個(gè)點(diǎn)位測(cè)試，短路檢出率高達(dá)100%，斷路檢出率高達(dá)99.5%以上。

　　此外，該設(shè)備通過(guò)細(xì)微線路缺陷檢測(cè)技術(shù)，選用高精度微針、快速對(duì)位算法，以及適應(yīng)多品類(lèi)產(chǎn)品的缺陷檢測(cè)工藝方法和規(guī)范化應(yīng)用技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)6-22英寸產(chǎn)品的無(wú)極兼容測(cè)試，單片產(chǎn)品測(cè)試時(shí)間可在55s以內(nèi)完成。在需要切換產(chǎn)品種類(lèi)時(shí)，該設(shè)備也可實(shí)現(xiàn)測(cè)試工藝的快速自動(dòng)調(diào)整。

　　圖片來(lái)源：合肥欣奕華

　　據(jù)悉，合肥欣奕華成立于2013年，由北京欣奕華科技有限公司控股，主營(yíng)業(yè)務(wù)包括泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)工業(yè)機(jī)器人、智慧工廠解決方案，以及高端制造裝備。公司可為客戶提供Mini/Micro LED等檢測(cè)設(shè)備，包括點(diǎn)燈AOI、外觀AOI、斷/短路檢測(cè)設(shè)備等。

　　Micro LED設(shè)備廠商動(dòng)態(tài)接連不斷

　　近期，多家Micro LED設(shè)備制造商的動(dòng)態(tài)引起了業(yè)界的關(guān)注。除了合肥欣奕華外，錼創(chuàng)、精測(cè)電子、大族半導(dǎo)體以及壹倍科技等企業(yè)在Micro LED設(shè)備領(lǐng)域也有了新的進(jìn)展。

　　9月19日，精測(cè)電子 Micro LED CT AOI檢測(cè)設(shè)備順利出機(jī)正式交付某省級(jí)實(shí)驗(yàn)室客戶。其自主研發(fā)的晶圓外觀檢測(cè)設(shè)備主要采用顯微光學(xué)方案針對(duì)晶圓的μm級(jí)外觀缺陷進(jìn)行檢測(cè)及量測(cè);同時(shí)可擴(kuò)展到晶圓Bumping 3D量測(cè)及LED 3D量測(cè)應(yīng)用。

　　壹倍科技 于8月15日宣布，其自主研發(fā)與生產(chǎn)的Micro LED晶圓級(jí)AOI巨量檢測(cè)設(shè)備順利交付至Micro LED巨量轉(zhuǎn)移領(lǐng)域頭部客戶。該設(shè)備能夠在數(shù)分鐘內(nèi)檢測(cè)Micro LED COW或COC晶圓上數(shù)千萬(wàn)顆芯粒的缺陷或位置量測(cè)，最小可檢出亞微米級(jí)的缺陷和偏移。

　　錼創(chuàng)和大族半導(dǎo)體則是首次展出Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備。

　　錼創(chuàng) 在9月4-6日舉辦的SEMICON Taiwan半導(dǎo)體展中，首次公開(kāi)展示Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備。該設(shè)備重約十噸，可將六英寸晶圓上的RGB微型LED精準(zhǔn)轉(zhuǎn)移至不同尺寸的面板上，為Micro LED大尺寸應(yīng)用提供了可能。

　　錼創(chuàng)日前還表示，公司對(duì)今年Micro LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展持樂(lè)觀態(tài)度，預(yù)計(jì)通過(guò)增加銷(xiāo)售設(shè)備業(yè)務(wù)，轉(zhuǎn)移設(shè)備將貢獻(xiàn)約10%-20%的營(yíng)收，并將擴(kuò)大開(kāi)發(fā)歐美市場(chǎng)。

　　大族半導(dǎo)體 于9月10-12日舉辦的CIOE中國(guó)光博會(huì)上，首次實(shí)體展出了全自動(dòng)Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備DM100-M0406B。該設(shè)備轉(zhuǎn)移良率可達(dá)99.99%以上，可實(shí)現(xiàn)最小尺寸5μm，間距5μm的芯片加工，具有自動(dòng)CCD校正、自動(dòng)上下料等多種功能。

　　上述進(jìn)展表明，Micro LED設(shè)備制造商正在不斷推動(dòng)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用的擴(kuò)展，相關(guān)設(shè)備已獲得客戶的認(rèn)可與使用。這些進(jìn)展對(duì)于Micro LED行業(yè)的長(zhǎng)期發(fā)展是一個(gè)積極的信號(hào)，預(yù)示著該技術(shù)在未來(lái)可能會(huì)在更多領(lǐng)域得到應(yīng)用。